Ionstrålekegler

SIKAIDA Ion Beam Cones er kernekomponenter i ionstråleimplantations- og transmissionssystemer. Fremstillet af avancerede keramiske materialer med høj renhed og behandlet gennem præcisionssprøjtestøbning og højtemperatursintring, har de ekstremt lavt urenhedsindhold, høj temperaturbestandighed og stabil dimensionsnøjagtighed. De kan bearbejdes til komplekse geometrier for at opfylde ekstremt høje tolerancekrav, hvilket gør dem velegnede til højtydende halvlederionimplantationsprocesser.

Som en professionel producent i Kina leverer SIKAIDA pålidelige, omkostningseffektive og tilpasselige ionstrålekegler til kunder over hele verden inden for halvleder, fladskærm, optik, mikroelektromekaniske systemer (MEMS) og solenergi. SIKAIDA er en pålidelig langsigtet leverandør og dedikeret produktionsanlæg til high-end ionstråleproceskomponenter.

Materialer og fremstilling

1. Materialer

Ion Beam Cones anvender materialer, herunder aluminiumoxid (Al₂O₃) med en renhed ≥99,9%, siliciumnitrid (Si₃N₄) med en renhed ≥99,5%, zirconiumoxid (ZrO₂) med en renhed ≥99,8% (99,8% silica) og 99,8 %. Alle materialer opfylder de strenge renhedsstandarder i halvlederindustrien og er velegnede til ydeevnekravene til forskellige applikationer.

2. Fremstillingsproces

Fremstillingsprocessen omfatter præcisionssprøjtestøbning, højtemperatursintring, CNC-præcisionsbearbejdning, polering på spejlniveau og automatiseret rengøring og test. Hver proces er strengt kontrolleret for præcision og kvalitet for at sikre, at det endelige produkt opfylder industristandarder og kundekrav.

Nøgle produktparametre

1. Dimensionsnøjagtighed

Ionstrålekegler har tolerancer kontrolleret inden for ±0,05 mm, overfladeruhed Ra≤0,4μm, indvendig hulkonusnøjagtighed ±0,02mm, koaksialitet ≤0,03mm og vinkelret ≤0,02mm. Denne ekstremt høje dimensionelle nøjagtighed sikrer effektivt præcisionen af ​​ionstråletransmission.

2. Overfladebehandling

Overfladebehandlinger omfatter mekanisk polering for en spejlfinish, UV-hærdede belægninger for at forbedre overfladeegenskaber, ridsefaste belægninger for at forbedre slidstyrken og syrebejdsning og passivering for at fjerne urenheder og forbedre stabiliteten. Passende behandlingsmetoder kan vælges ud fra ansøgningskrav.

3. Præstationsindikatorer

Ionstrålekegler fungerer inden for et temperaturområde på -196 ℃ til +800 ℃, hvilket sikrer stabil drift i ekstreme temperaturmiljøer. De har en volumenresistivitet ≥10¹⁴Ω·cm og en overfladeresistivitet ≥10¹²Ω, hvilket udviser fremragende isoleringsegenskaber. De har også enestående modstandsdygtighed over for plasma og kemisk korrosion, hvilket giver dem mulighed for at tilpasse sig komplekse procesmiljøer.

Kerne fordele

1. Ultrahøj renhed: Råmaterialets renhed overstiger 99,9%, hvilket minimerer forurening af halvlederwafere, sikrer stabil elektrisk ydeevne af enheder og opfylder de strenge renhedskrav til halvlederfremstilling.

2. Ekstremt høj geometrisk nøjagtighed: Sikrer ensartede produktdimensioner under masseproduktion, med konusfejl kontrolleret inden for ±0,05 mm og rundhedsfejl ≤0,02 mm, hvilket præcist matcher installations- og brugskravene for ionstråletransmissionssystemer.

3. Spejllignende overfladekvalitet: Overfladeruhed Ra≤0,4μm, der effektivt reducerer ionstrålespredning, forbedrer ensartetheden af ​​ionstråletransmission og optimerer yderligere implantationsnøjagtigheden af ​​halvlederenheder.

4. Bredt temperaturområde stabilitet: Fungerer stabilt i dybe kryogene til høje temperaturer. Materialet har en ekstremt lav termisk udvidelseskoefficient, der opretholder fremragende dimensionsstabilitet selv ved temperaturændringer, hvilket forhindrer ydelsespåvirkninger fra temperaturudsving.

5. Fremragende isolerings- og korrosionsbestandighed: Forhindrer effektivt ladningsakkumulering under ionstråletransmission og modstår stærke syrer, stærke alkalier og forskellige plasmakorrosioner, hvilket sikrer langsigtet stabil drift i komplekse procesmiljøer.

Tilpassede tjenester

Produktmodeller og størrelser kan tilpasses efter forskellige proceskrav. Understøttede tegneformater inkluderer STP, STEP, IGS, XT, DXF, DWG, PDF og fysiske prøver. Med hensyn til leveringstid er prøvelevering 4-7 uger, og batchproduktlevering er 8-12 uger. Vores kvalitetssystem overholder ISO9001:2015, SGS RoHS, REACH og SEMI-standarder, hvilket i vid udstrækning sikrer produktkvalitet og leveringseffektivitet.

Anvendelsesområder

Ion Beam Cones er meget udbredt inden for flere områder, herunder ionimplantatorer i halvlederfremstilling, behandlingsudstyr i fladskærme, ionstråleaflejring (IBD) og ionstråleætsningssystemer (IBE) i fremstilling af optiske anordninger, fremstilling af mikroelektromekaniske systemer (MEMS) til fremstilling af solcelle-dotering, solionenergi-dotering, halvlederenheder såsom bipolære transistorer med isoleret port (IGBT'er) og strøm-MOSFET'er.

Ofte stillede spørgsmål:

Q1: Hvilke materialer bruges typisk i ionstrålekegler?

A1: Vi bruger primært avancerede keramiske materialer såsom højrent aluminiumoxid (Al₂O₃), siliciumnitrid (Si₃N₄) og zirconiumoxid (ZrO₂). Disse materialer har ekstrem høj renhed, fremragende højtemperaturbestandighed og stabile elektriske egenskaber.

Q2: Kan UET levere tilpassede specifikationer og overfladebehandlinger? 

A2: Ja. UET kan tilpasse størrelsen, tilspidsningen, materialetypen og overfladebehandlingen af ​​keglerne i henhold til dine proceskrav. Vi har stor produktionserfaring og kan imødekomme kundernes specifikke applikationskrav.

Q3: Hvordan er præcisionen og kvaliteten af ​​ionstrålekegler garanteret?

A3: Vi vedtager ISO9001:2015 kvalitetsstyringssystemet og er udstyret med højpræcisionstestudstyr, inklusive en koordinatmålemaskine, overfladeruhedstester og røntgenfluorescensspektrometer, for at sikre, at hver batch af produkter opfylder strenge industristandarder.

Q4: Hvad er leveringscyklussen?

A4: Prøveleveringscyklussen er 4-7 uger, og batchproduktets leveringscyklus er 8-12 uger. Den specifikke cyklus afhænger af produktets kompleksitet og ordremængde.